Untuk mempertahankan operasi stabil mesin litografi, perlu mengatur sistem pendinginan di dalam mesin litografi.Sistem pendinginan mesin litografi terutama mencakup pendinginan air, pendinginan udara paksa, pendingin, hidrogen dan helium dan cara lain, yang pendinginan air adalah arus utama.Sistem pendinginan air di dalam mesin litografi melewati air melalui radiator internal melalui pipa air, mengambil panas ketika mengalir melalui bagian suhu tinggi internal, dan menghilangkan panas melalui radiator eksternal,sehingga menjaga lingkungan suhu rendah di dalam mesin litografi dan memastikan operasi stabil mesin litografi.